المفتاح البصري MEMS هو مفتاح ضوئي دقيق مصنوع من مادة أشباه الموصلات ، والذي يستخدم بشكل عام كمرايا صغيرة متحركة يمكنها تحويل الإشارات الضوئية من ألياف الإدخال إلى الإخراج. إنه يحتضن المزايا مثل المدمجة وخفيفة الوزن وسهلة التوسيع. إلى جانب ذلك ، فإنه يشترك في مزايا كل من المفتاح البصري الميكانيكي والمفتاح البصري لدليل الموجة. نظرا لأن EMES يجمع بين التكامل الكهربائي والميكانيكي والبصري ككل ، فإنه يمكن أن ينقل على ما يبدو معدلات مختلفة وخدمات تجارية مختلفة. تتميز محولات MEMS بقابلية توسع جيدة. تتوفر بالفعل مصفوفات ثنائية الأبعاد بحجم 32×32 ويمكن استخدامها ككتل بناء أساسية ، في بنية أحادية المرحلة ، لتوسيع نطاق ما يصل إلى 256 منفذا.
